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侨光净化:电子厂房空调净化工程设计
作者:admin 发布日期:2018-03-20


近年来,各类电子厂房兴起很快。由于各类电子厂房生产工艺的差异,其洁净度的要求也不尽相同。在高级别净化工程中,FFUFan Filter Unit)的应用越来越多。其主要原因是FFU布置灵活,运行节能,避免庞大的风管系统,节省了建筑空间及能源,改造容易等特点。但是在中低级别的净化工程中,房间面积一般较大。在同一房间内,不同工序需要的洁净度也不一样。由于FFU的价格仍停留在较高的水平上,如果整个房间按照工艺要求的最高级别设计净化空调,在无形中就浪费了能源,增加了投资。故如何考虑多种因素,在满足洁净度的要求下,最大限度地降低投资,合理设计FFU就成了暖通设计师需要考虑的内容。本工程就是其应用之一。

一、工程概况

本工程主要生产LCD液晶显示器等器件。。

该建筑占地1138.2m2,建筑面积2308.8m2,为二层钢筋混凝土框架结构,一层5.4m,二层7.0m。生产区地面采用活动地板满布铸铝支撑在下部密梁上,密梁顶标高为4.9m,架空活动地板高度0.5m,二层FFU底标高2.8m,静压箱高2m

附图剖面图:


 

 

二、净化空调方案的比较选择

该外延厂房(外延是单晶衬底上生长一层新单晶的技术,新生单晶层的晶向取决于衬底,由衬底向外延伸而成,故名“外延层”)6英寸生产线工艺对暖通专业净化要求较高(工艺设备区要求不高,简称灰区,人员正面操作处为净化工作区,简称工作区),因此方案的选择是很重要的。工艺对暖通专业净化要求参数详见下表:

净化、空气调节设计参数表

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房间编号

房间名称

面积

系统号

温度℃

湿度%

洁净等级

 

备注

X m


(一)

外延工作区

208

JK-1

23±1

45±5

0.1

100


(二)

外延测试清洗

150

JK-1

23±1

45±10

0.1

100


(三)

石英部件清洗

26

JK-1

23±3

45±10

0.5

1000


(四)

二次更衣

28

JK-1

23±3

45±10

0.5

10000


(五)

一次更衣



1826

45±10


舒适空调


(六)

设备灰区

219

JK-2

1928

45±10

0.5

10000


(七)

下设备回风区


JK-1

自然