近年来,各类电子厂房兴起很快。由于各类电子厂房生产工艺的差异,其洁净度的要求也不尽相同。在高级别净化工程中,FFU(Fan Filter Unit)的应用越来越多。其主要原因是FFU布置灵活,运行节能,避免庞大的风管系统,节省了建筑空间及能源,改造容易等特点。但是在中低级别的净化工程中,房间面积一般较大。在同一房间内,不同工序需要的洁净度也不一样。由于FFU的价格仍停留在较高的水平上,如果整个房间按照工艺要求的最高级别设计净化空调,在无形中就浪费了能源,增加了投资。故如何考虑多种因素,在满足洁净度的要求下,最大限度地降低投资,合理设计FFU就成了暖通设计师需要考虑的内容。本工程就是其应用之一。
一、工程概况
本工程主要生产LCD液晶显示器等器件。。
该建筑占地1138.2m2,建筑面积2308.8m2,为二层钢筋混凝土框架结构,一层5.4m,二层7.0m。生产区地面采用活动地板满布铸铝支撑在下部密梁上,密梁顶标高为4.9m,架空活动地板高度0.5m,二层FFU底标高2.8m,静压箱高2m。
附图剖面图:
二、净化空调方案的比较选择
该外延厂房(外延是单晶衬底上生长一层新单晶的技术,新生单晶层的晶向取决于衬底,由衬底向外延伸而成,故名“外延层”)6英寸生产线工艺对暖通专业净化要求较高(工艺设备区要求不高,简称灰区,人员正面操作处为净化工作区,简称工作区),因此方案的选择是很重要的。工艺对暖通专业净化要求参数详见下表:
净化、空气调节设计参数表
房间编号 | 房间名称 | 面积 | 系统号 | 温度℃ | 湿度% | 洁净等级 |
备注 | |
X m | ||||||||
(一) | 外延工作区 | 208 | JK-1 | 23±1 | 45±5 | 0.1 | 100级 | |
(二) | 外延测试清洗 | 150 | JK-1 | 23±1 | 45±10 | 0.1 | 100级 | |
(三) | 石英部件清洗 | 26 | JK-1 | 23±3 | 45±10 | 0.5 | 1000级 | |
(四) | 二次更衣 | 28 | JK-1 | 23±3 | 45±10 | 0.5 | 10000级 | |
(五) | 一次更衣 | 18~26 | 45±10 | 舒适空调 | ||||
(六) | 设备灰区 | 219 | JK-2 | 19~28 | 45±10 | 0.5 | 10000级 | |
(七) | 下设备回风区 | JK-1 | 自然 | <